德國PFEIFFER CMR364 真空計核心技術(shù)特點
點擊次數(shù)：124 更新時間：2026-04-01
德國PFEIFFER CMR364 真空計核心技術(shù)特點
CMR364 是普發(fā)真空推出的高精度陶瓷電容薄膜真空計，采用純電容式傳感原理，專為中低真空精密測量設(shè)計，無熱絲結(jié)構(gòu)，測量穩(wěn)定、抗干擾能力強，主要面向半導(dǎo)體、鍍膜、檢漏及科研真空系統(tǒng)。
一、核心測量原理
采用高純氧化鋁陶瓷電容薄膜傳感器，壓力作用使陶瓷膜片發(fā)生微小形變，引起電極間電容變化，通過電路將電容變化線性轉(zhuǎn)換為電壓信號輸出。全程為直接壓力測量，不依賴熱傳導(dǎo)，無氣體種類修正問題。
二、核心技術(shù)特點
- 測量與氣體種類無關(guān)純電容式原理，不受氣體分子量、導(dǎo)熱系數(shù)影響，空氣、惰性氣體、活性氣體、腐蝕性氣體測量結(jié)果一致，無需修正系數(shù)，測量值真實可靠。
- 超高精度與優(yōu)異穩(wěn)定性測量精度高，讀數(shù)誤差小，分辨率精細(xì)，可滿足精密真空工藝控制需求。零點與量程溫漂極低，內(nèi)置完善溫度補償，環(huán)境溫度變化對測量影響小。無老化、無記憶效應(yīng)，長期使用漂移小，可大幅減少校準(zhǔn)頻次。
- 極快響應(yīng)速度響應(yīng)時間短，能快速捕捉真空系統(tǒng)壓力波動，適合動態(tài)壓力監(jiān)測與自動控制閉環(huán)。
- 耐沖擊、耐污染、抗腐蝕傳感器采用陶瓷與不銹鋼結(jié)構(gòu)，機械強度高，可承受大氣壓沖擊，無需額外保護閥?？狗蹓m、抗蒸汽、抗部分腐蝕性介質(zhì)，適合惡劣工業(yè)真空環(huán)境。
- 無熱絲、無自加熱、無干擾內(nèi)部無加熱絲結(jié)構(gòu)，不會對真空環(huán)境產(chǎn)生熱干擾，不會因高溫造成介質(zhì)分解或副反應(yīng)，適用于對溫度敏感的工藝。
- 工業(yè)級電氣與安裝適配性標(biāo)準(zhǔn)直流供電，適配工業(yè)現(xiàn)場電源。輸出線性模擬信號，可直接接入 PLC、控制器或顯示儀表。支持多種真空接口，安裝靈活，結(jié)構(gòu)緊湊堅固，適合設(shè)備集成與長期連續(xù)運行。低功耗、長壽命工作功耗低，無發(fā)熱部件，無機械磨損部件，在連續(xù)工況下具備較長使用壽命，維護成本低。
德國PFEIFFER真空泵典型適用場景
中低真空段精密壓力監(jiān)測、真空鍍膜工藝控制、半導(dǎo)體工藝腔體壓力測量、氦檢漏配套、真空爐與熱處理設(shè)備、科研實驗室高穩(wěn)定真空測量等。
